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第73章 纳米光刻机一（第1页）

跟镜片一起运抵苏硅的还有大连光源最新研发的激光器，比之前申城微电子使用的镜片技术要高2-3代，这得益于EUV镜片加工线的先进技术，背后也有23所离子抛光技术的影子。而且大连光源提供的激光器使用的也是最问道的DPP-EUV技术，尽管距离ASML最先进的技术还有差距，但用于DUV光刻机已然足够，海思团队看到激光器时都信心大增，何洪年知道这应该是用于EUV的光源。收到镜片后，温天洋立刻组织人手开始按照图纸组装镜头，分别是26枚镜片与22枚镜片两个方案。无论是哪个方案，对于海思来说难度不小，镜片最长直径为1.2m，20多枚镜片定心安装，对工艺和量测设备都是超高挑战，DUV光刻机镜头可以看作是放大版的相机镜头，由20几枚凹凸镜片组成。与单反镜头不同，光刻机的镜头上下使用的都是直径较大的镜片，中部由直径较小的镜片构成，形成漂亮的腰身曲线，腰身的镜片组还必须能上下移动，用于调节光源。镜头组装好后还得配备冷却系统，内部为气冷装置，外部则是水冷系统。路阳跟廖老赶到苏硅时，海思团队已经开始着手镜头组装，看着净室内忙碌的众人，廖老脸上露出满意的神色，无论是什么目的，华微能在这个特殊时间段参与进来，对华国的半导体芯片帮助不小。何洪年见到廖老与路阳，心中大定，看来廖老还是很关心这边进度的。“廖老，非常感谢您的支持，激光器那边已经验收，助力不小啊！”廖老脸上出现不常见到的笑容，说道：“你们也辛苦了，听路阳说了你们设计的两套方案，过来看看，无论是光源跟镜片都是最新的技术，如果在DUV上能稳定，我们受益不小。”“年哥，镜头组装需要多长时间？”路阳问道，他对工作量一直无法预估，毕竟都是头一回。“镜头组需要1天时间，冷却系统1天，这还是我们提前演练过的，原来那台DUV的镜头组已经被反复拆卸好几次了，没什么问题，只是朱易那边的双工件台系统耗时要长些，整台设备的组装最快也要1周左右。”何洪年对海思团队的效率是很骄傲的，准备工作做得非常充分。廖老接着问道：“申城微电子那边的人到了吧，浸没式技术已经更新，这次升级直接用最新的吧。”“前两天到的，多亏了他们的帮忙，朱教授这边才能把时间缩短到3天。”路阳换好衣服，进入内间，系统已经很长时间没反应了，不知这种非插电情况会否有反应。何洪年走到廖老身边低声问道：“廖老，不知EUV那边的进度如何了？是否有我们能帮忙的地方？”看来华微的情况不乐观啊，廖老并未介意，何洪年这么多年的坚持，大家都能看到，华微海思在他的带领下杀出一条血路，外界甚至怀疑其研发实力已不下于三星与苹果了，只是受限于市场罢了。“你们有这心很好，小路说你们有意参与到华芯光学来，我是赞同的，最近局势不稳，华微的一言一行都在聚光灯下，参与的方式最好隐秘些。”何洪年一听大喜，“谢谢廖老！”“不是谢我，何总啊，无论是DUV还是EUV，明面上都是华芯的，这点你要记住，路阳对于华夏半导体是不可缺少的关键，至于EUV的进度，不好说，DUV跟他的差距就像是小学生跟教授。”尽管答案在预料中，何洪年还是一阵无奈，起步太晚了啊！“明白，不过我想以华芯的实力，还有廖老的主持，一切都只是时间问题。”温天洋看着路阳进来，赶紧向其介绍道：“镜头组差不多组装完成了，现在在安装的是气冷与检测系统。”“速度还是很快的嘛，看来温总没少下功夫啊！”路阳伸手触摸着镜头组的外壳机身，室外的廖老眉头一皱，旋即恢复正常。“镜片都检测过了，各方面数值非常不错，我们还做了次对比，不比ASML的差，华芯在这方面进步不小啊。”路阳对上中下的镜头组机身都动了手，遗憾的是系统一点反应都没，有心想吐槽，但一想到下周就要组装完成，赶紧收住念头。“温总客气了，这次多亏了长春光机所的白教授，这批镜头原计划是给申城微电子的。”“是得感谢他们，对了，路总，华芯光学的事如何了？”“应该没什么问题，周总那边到时会安排人跟何总对接，地点大概率就在松江，由华芯牵头，长春光机所、大连光源都会派人参加，华微这边加入的话，做得隐秘些。”这事周怀义跟上面汇报过，有华微的加入，各方面进度应该都会加快许多，尤其是人才方面。“明白的，这事何总会单独向任老汇报。”系统摆烂没反应，路阳只好退出净室，看到廖老时微微摇头。跟着廖老来到双工件台的研发车间，几十号人正忙碌着，这次的升级改造，唯一短板就是这方面了。前世做视频时，路阳便了解到华卓工件是世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司，打破了阿斯麦尔的垄断，但现在是2018年底，很多技术现在的华卓并未掌握。朱易教授今年45岁，清大教授，与廖老自然是熟识的，见到两人，赶紧起身迎接。“廖老，路总，很荣幸能参加这次的项目研发，苏硅的这台设备，工件台方面的技术对我们启发不小，有些专利如果应用到双工件台，90纳米精度应该可以稳定了。”系统出品的技术，连ASML都不一定比得过。“朱教授辛苦了，你有兴趣的话可以跟小路这边谈技术授权，不过现在最优先的还是尽快让设备运行起来，这样我们才能开展下步的工作。”也许是路阳那边并没出什么结果，廖老希望这边能加快速度，毕竟又不需要他们保证误差。“放心，最慢3天，最快2天应该能出结果！”严格说起来，廖锡昌算是朱易的老师，朱易在清大也曾经听过廖老的课。“那就好，华卓一直是清大的骄傲，可别拖后腿啦！”喜欢穿越就被抓，我拯救华夏芯片（）穿越就被抓，我拯救华夏芯片。

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