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光束本身不可能这么细,要想达到需要的直径,就只能通过透镜对其进行聚焦。
众所周知,玻璃看似透明,但内部其实有很多杂质。
如果是用普通的玻璃制作成透镜,对光束进行聚焦,就会因为内部的各种杂质,导致光束被分散、偏移,导致聚焦不准。
为了保证聚焦成功,只能放宽光束直径。
这就是早期光刻机的光刻宽度有限的根本原因,而提升光刻机的刻蚀精度,就是要想方设法,约束光束的聚焦范围,范围越小,精度就越高。
要保证聚焦范围,一方面是研发波长更短的高能激光,一方面就是提升透镜的透光度。
两者缺一不可。白
云天正在指挥研究人员们做的,就是制造出高纯度、高透光度的透镜材料。“
提取样本,对其掺入杂质进行分析!”随
着他的命令,一根纤细的合金针从炉顶缓缓降落,汲取了部分熔融物,然后再缓缓升起。研
究人员提取了合金针上的样本,迅速送入各个测量仪器,对其内部成分进行测量。数
据很快出来。
“钼含量为4.2……硼为0.12……铁为0.04……”研究人员带着激动的表情,将一项项参数迅速报到他面前。
随着一个个参数的报出,实验室内众人的表情都兴奋起来。
从检测的结果来看,这一炉材料的纯度已经达到了国际上同等纯度。
比国内最高水平还要高出一个等级!白
云天也很高兴。虽
然只能实验室小规模制造,但有了这种高纯度透光材料,光刻机的透镜就有了希望。他
嘴角微弯:“先别急,我们还只是制造出了高纯度材料,还不是高兴的时候。”“
是!”研
究人员们也知道还不是高兴的时候,要将高纯度材料,变成高透光率的镜片,还需要将其制作成锅盖大小的玻璃片,光是在成型时,如何让材料分子平均分散,保证每一个部位都同样强度、稳定性,就不是一件容易的事情。
这还只是第一步。当
玻璃片成型以后,还需要用金刚石车床进行超高精度的碾磨,所涉及到的技术难点,比玻璃片成型还要高。
但他们一点也不畏惧。出
于对白云天近乎于盲目的信任,他们相信任何困难都挡不住众人前进的步伐,很快就会被一一克服!
事实也是如此。
在白云天作弊性的直接指导下,研究人员只失败了几十次,就成功克服了玻璃成型的关键技术,制造出了内部应力、光学特性稳定的玻璃片。随
后的碾磨同样没有难住众人。
利用实验室少量制造的精细碾磨粉末、高纯度辅助试剂、保护膜,研究人员一鼓作气研磨出了符合需求的数十片高透光度镜片。
光刻机第一道关卡,被众人轻松越过!(小燕文学WwW.XiaoYanwenXue.CoM)
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