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东大派出的是微电子所的老李同志,算是国内半导体检测技术开拓者,俩人各自带的团队属于互补。
但沟通不大顺畅,处于矜持的试探性接触和了解中,合作还无从谈起
六组负责真空与环境控制系统。
戴英来的是工程院的休?戴维,同时也是伦敦大学教授,真空系统集成专家,参与过欧洲早期光刻设备研发。
内陆来的是物理所的金建中,国内真空技术奠基人,国内的超高真空技术就是他带队搞出来的。
这两位牛人倒是挺融洽,问题是过去几天只顾着技术交流了,正事儿一点没干。
行吧,磨刀不误砍柴工
最后一组负责机械结构与控制系统联调,和故障诊断流程建立。
戴英带队的是皇家学会的约翰?赖特,系统工程专家,主导过多学科技术整合。
内陆来的是45所的张总工,全程参与了我们现役光刻机的装配工作,技术没的说,经验也很丰富,就是表达能力有点一般。
约翰?赖特做过技术整合,是一帮英国佬里少见的,比较开朗热情,懂得开玩笑,很友善的存在。
但正是因为他的这种“异常”表现,引发了张总工的高度警惕。觉得事有反常,生怕对方带有险恶的目的。
俩人有点剃头挑子一头热的意思
听了赵小军的情况介绍,曲卓属实没太当回事。主要是陌生造成的,再就是缺乏紧迫感。
至于每个组谁是老大谁是老二那玩意没有强行任命的,属于各凭本事。哪个能让更多的人信服,哪个就是老大。
都是具有研发与实践经验的成熟科研人员,只要有人帮所有人捋顺一下流程,再稍微一推,整个项目组就能运转起来。
像亚历克?布鲁斯那伙儿的也没大问题。
其它组运转起来,他就算维护自己戴英两院院士的骄傲,也不会让晶圆承载台这一块,拖了整个项目的后腿。
只要能学到真本事,忍受一下他的高傲和坏脾气又能怎么样
一如既往的中餐加炸鱼、烤肉、薯条组成自助晚餐过后,所有人到大会议室集合。
曲某人没有半句废话,在两块白板上罗列出gca的dsw4800和小日子尼康刚推出的nsr-1010g的具体参数。
从光源波长到孔径、分辨率、定位精度、曝光效率、对准方式、光刻胶类型、缺陷率和tbf,进行全方位的对比。
随后又在第三块板子上,罗列出石壁实验室步进式光刻机的预设参数。哪些问题已经解决了,哪些问题等待解决。
然后,问众人:“伙计们,dsw4800将主流制程从3微米推进到了15微米。尼康nsr-1010g更进一步,13微米将会走出实验室。
而且,我有可靠的消息,他们正在全力攻关,意图将缩小倍率从10比1调整为5比1。
知道那意味着什么吗?
一旦他们取得成功,主流制程大概率被推倒1微米,甚至是800纳米。
我可以告诉你们,我的团队,已经做好了基于800纳米制程的,集成了浮点运算单元的新设计。
现在,请你们明确的告诉我。还需要多长时间,我才能等到你们的成果?”
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