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第二百七十五章 检验（第1页）

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中科院微电子中心出产的0.8微米工艺光刻机，其光源和光电成像照准系统都是光电所的杰作。作为光电所的一把手，赵院长对光刻机也算是大半个行家了。

只一眼，他就认出了这套光刻机的出身。1995年上半年微电子中心，才完成了0.8微米工艺光刻机的研发。产量在那里明摆着，一共也没有生产出多少来。没办法，中科院当幕后老板，国内最有可能向这方面发展的梦幻集团，都放弃了走技术路线。除非国家上马集成电路的大工程，否则根本没有哪个单位吃饱了撑的，会去采购国产光刻机。

国产光刻机的市场占有率，不光是九十年代，哪怕到了二十一世纪也是个悲剧。魔都微电子号称2009年就实现了90nm光刻机的国产，但是后来国内晶圆厂宁愿买国外进口的二手线，也不要他的国产货。

在光刻机上面，为何神奇的兔子能造就白菜定律，却偏偏不起作用了？这一点也不奇怪，因为一是核心设备没掌握，尼康卡你的脖子。二是光刻机的良品率上不去，产品便宜的再多架不住生产成本高。

当然，魔都微电子不管怎么说，总还是做了一些成绩的。周硕虽然心里惋惜，但也明白国产光刻机不行，不是它一家的问题。

总之这年头中科院微电子中心能卖出去的光刻机可谓是凤毛麟角，而其中的光电设备只一眼赵院长就看出来确实是出自自家之手。

不管研究成果如何，这起码说明周硕确实在实打实投入的研究技术。赵院长看向自家产品的眼神。自然也就温柔了许多。

“这套设备说起来，还是我在光电所的时候亲手制作的。”麻友公站在赵院长的身边。感慨的说道：“院子，不论泛翰研究院的水平如何。起码他们确实是在踏踏实实的做技术。就这一点上来说，也不应该对他们太过苛求了。”

“哼，你现在是人家的工人了，当然替东家说话。”赵院长有些傲娇的哼哼着，眼睛却在光刻机上怎么也挪不开。

他收敛了一下脾气，好奇的问道：“这就是你们改进的0.5微米工艺光刻机？究竟做了哪些改进？”

“我们改进了……”麻友公开了个头，突然停顿了一下，无奈的摇头道：“我和研究所签了保密协议的，具体技术不能说。”

“德行。”赵院长撇了麻友公一眼。看的他浑身不自在。没办法，他这一身本身可以说，多半都是来自赵院长的传授。如今老师问他这点问题，自己却表现的好像什么重大机密似的，难免有些心虚。

赵院长却没有多做计较，只是在光刻机前前后后的打着转，就不信自己的眼力还看不出来有什么不同。

其实虽然麻友公这多少算是叛出师门，但赵院长心底里却并不怎么怨他的。一是光电所这些年来，确实有些对不起麻友公。二一个。心里多少也希望自己的徒弟能有一个好的归宿吧。

从这方面来说，他其实也理解麻友公保密的做法。假使改进技术真的有效，这里面涉及到的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司，当然不可能让人敞开了看。

就在这时。光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色，并且发出了一道短促的“哔——”声。

一张200mm直径的晶圆盘片，从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。

“这是！”赵院长哪里会不知道这是怎么回事。光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同，但他知道这已经是经过了光刻的盘片。

此时这张盘片上面的光刻胶。应该已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机，就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。

在场的所有人。除了保安部的安保人员以外，几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白，泛翰研究院是否已经掌握了0.5微米工艺，答案就在这一刻了。

“诸位，我们泛翰研究院究竟有没有掌握0.5微米工艺技术，大家此时此刻可以拭目以待了！这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻，我请你们记住1995年10月7日这个光荣的日子……”

周硕几乎是虔诚的，把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面，并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。

只是此时此刻，似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆，心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了0.5微米工艺。

问题很简单，若非是有十足把握，周硕又怎么有这个勇气，在众人面前完成蚀刻程序？甚至有的人心里已经打起了小算盘，按照国内的传统，说不定是已经有了成功经验之后，才玩的这个出炉把戏吧。

不管如何，周硕胸有成竹的模样，都让他们的态度在不自觉间发生了变化。

和光刻程序比起来，蚀刻的速度就快多了。几分钟之后，酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方，腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微小到不论是人的肉眼、或者是普通的放大镜都无法发觉的地步。

当然，以蜂巢实验室里面的设备，有大把大把的方法可以对其进行观察和测量。

至少在1995年的集成电路制造水平，0.5微米的线宽，一部光学显微镜就已经足够、足够。

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