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跟镜片一起运抵苏硅的还有大连光源最新研发的激光器,比之前申城微电子使用的镜片技术要高2-3代,这得益于EUV镜片加工线的先进技术,背后也有23所离子抛光技术的影子。
而且大连光源提供的激光器使用的也是最问道的dpp-EUV技术,尽管距离ASmL最先进的技术还有差距,但用于dUV光刻机已然足够,海思团队看到激光器时都信心大增,何洪年知道这应该是用于EUV的光源。
收到镜片后,温天洋立刻组织人手开始按照图纸组装镜头,分别是26枚镜片与22枚镜片两个方案。
无论是哪个方案,对于海思来说难度不小,镜片最长直径为1.2m,20多枚镜片定心安装,对工艺和量测设备都是超高挑战,dUV光刻机镜头可以看作是放大版的相机镜头,由20几枚凹凸镜片组成。
与单反镜头不同,光刻机的镜头上下使用的都是直径较大的镜片,中部由直径较小的镜片构成,形成漂亮的腰身曲线,腰身的镜片组还必须能上下移动,用于调节光源。
镜头组装好后还得配备冷却系统,内部为气冷装置,外部则是水冷系统。
路阳跟廖老赶到苏硅时,海思团队已经开始着手镜头组装,看着净室内忙碌的众人,廖老脸上露出满意的神色,无论是什么目的,华微能在这个特殊时间段参与进来,对华国的半导体芯片帮助不小。
何洪年见到廖老与路阳,心中大定,看来廖老还是很关心这边进度的。
“廖老,非常感谢您的支持,激光器那边已经验收,助力不小啊!”
廖老脸上出现不常见到的笑容,说道:“你们也辛苦了,听路阳说了你们设计的两套方案,过来看看,无论是光源跟镜片都是最新的技术,如果在dUV上能稳定,我们受益不小。”
“年哥,镜头组装需要多长时间?”路阳问道,他对工作量一直无法预估,毕竟都是头一回。
“镜头组需要1天时间,冷却系统1天,这还是我们提前演练过的,原来那台dUV的镜头组已经被反复拆卸好几次了,没什么问题,只是朱易那边的双工件台系统耗时要长些,整台设备的组装最快也要1周左右。”
何洪年对海思团队的效率是很骄傲的,准备工作做得非常充分。
廖老接着问道:“申城微电子那边的人到了吧,浸没式技术已经更新,这次升级直接用最新的吧。”
“前两天到的,多亏了他们的帮忙,朱教授这边才能把时间缩短到3天。”
路阳换好衣服,进入内间,系统已经很长时间没反应了,不知这种非插电情况会否有反应。
何洪年走到廖老身边低声问道:“廖老,不知EUV那边的进度如何了?是否有我们能帮忙的地方?”
看来华微的情况不乐观啊,廖老并未介意,何洪年这么多年的坚持,大家都能看到,华微海思在他的带领下杀出一条血路,外界甚至怀疑其研发实力已不下于三星与苹果了,只是受限于市场罢了。
“你们有这心很好,小路说你们有意参与到华芯光学来,我是赞同的,最近局势不稳,华微的一言一行都在聚光灯下,参与的方式最好隐秘些。”
何洪年一听大喜,“谢谢廖老!”
“不是谢我,何总啊,无论是dUV还是EUV,明面上都是华芯的,这点你要记住,路阳对于华夏半导体是不可缺少的关键,至于EUV的进度,不好说,dUV跟他的差距就像是小学生跟教授。”
尽管答案在预料中,何洪年还是一阵无奈,起步太晚了啊!
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