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第71章 再次简化的实验机（第2页）

门外响起众人哗然的声音，正是廖老跟白学礼到了。

能看出廖老的精神状态非常好，哪怕是刚从长春赶来的白学礼也是满脸笑容。

“都坐吧，大连光源已经可以制造25Kw放电泵浦极紫外光源，大家应该都知道了吧，这是我们小组取得的又一重大技术突破，今天把大家叫过来，一是分享这个好消息，另一个目的就是激光系统的设计进度。”

也许是好消息的刺激，路阳感觉廖老的声音比平时更加洪亮有力。

“这套激光系统主要解决的就是制造持续的13.5纳米极紫外光，每秒5万次击打，这需要有适配的数学模型，还需要精密的控制设备，计算组那边已经向上面申请神威·太湖之光协助计算，另外数学模型设计方面，在华科院的全力协助下，完成了十几个适配的数学模型，等超算计算后再做最后的选择。”

神威·太湖之光，华国性能排名第一的超级计算机，位于华国无锡。

没想到光刻机的制造连超算都用上了，这再一次刷新了路阳的认知。

“廖老，关于光学系统，我们这边有个想法。”

众人纷纷看向柴文政，廖老也投过来诧异的目光，计划中他们这边需要等到实验机组装完成后才能开展试验，现在只能通过小程序设计光路布置。

柴文政把刚刚跟路阳商议的方案介绍了一遍，刚说完想法。

白学礼的声音便响起：“这个方案不错，再多的设计没有实验支持都不可靠，镜片的实际参数也需要测试后才能最终准确，资料中的参数也不一定都对。”

廖老低头沉思，他需要思考的是整体进度问题，实验机的组装最快也要到春节后，这一个多月的时间不能浪费。

“说说看你们对实验的想法。”

丁冉说道：“廖老，我们只需要打造封闭的真空空间，用镜片做简易的光路布置，加入实施监测系统，最后再使用激光器制造193纳米的深紫外光击打液太金属锡即可。”

廖老继续问道：“你们有没考虑过，光源多次反射后最后的承载工具，还得加入工作台与硅片才行，这其实已经是再次简化版的光刻机了，这个实验空间需要花多少时间？”

柴文政回答道：“实验可以实现三个目标，一是对镜片的反射与吸收数据做收集，第二是光路布置的可行性判断，最后是抵达工作台的极紫外光是否可用，至于需要多久才能建好，还需详细的方案。”

显然这个方案是能加快整个进度的，廖老并未反对，当即在会上展开了落地细节的各项讨论。

最后通过一早上的讨论，廖老同意了该方案，并由柴文政负责，其他人全力配合。

会后路阳来到廖老办公室，向两人汇报了海思那边的进度。

“等镜片到位我跟你去看看吧！得加快进度了，西方可能要提前动手了，不是元旦就是春节过后。”

路阳心惊，蝴蝶效应果然还是不可避免啊！

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