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第45章 攻克镜片二（第1页）

忽然听到传说中的名字，路阳肃然起敬，难怪白教授每次提到23所脸上都充满敬意。

次日清早，路阳赶到光机所时，工作间站满了人，专家小组，23所，大连光源的同事都回来了，还有几个新面孔，看站位便知道那是23所两位教授的助手，大连光源那边也从两人增加到5人。

所有人视线都看向净室内，穿着洁净服的工作人员正在安装设备，看样子也差不多到了尾声。

白学礼拿着手上的资料，正在一一比对，看来是昨晚光机所这边连夜加班安装的。

“廖老，这样一来，按照您的要求，这条加工线算是完成了，有70%的设备跟资料中的相同，剩下的替代也满足要求。”

人群中的廖老，今天看起来更加精神，路阳站在他身边，手里拿着笔跟笔记本，再次变成学生模样。

“辛苦了，先测试吧！”

接着白学礼的两名助手抱过一沓文件，给现场所有人每人发了一本。

“各位，这是镜片加工生产线的说明文档，对应的设备、工艺、技术说明都做了图文标注，今天我们的任务就是两项，第一项是加工线的测试，第二项是1纳米镜片的打磨。”

说完白学礼对加工线的同事点了下头，示意开始。

设备启动，监控画面也传来了内间的操作画面，只见工作人员拿出预先生产好的镜片，送入加工线，开始了第一道流程，物理打磨。

镜片看起来跟12英寸的硅片相同大小，1英寸为2.54厘米，12英寸约30厘米。

众人视线集中到显示大屏上，凝重中带有丝期待。

“行了，测试而已，一块镜片的加工至少需要几个小时，在那之前再给大家复述下接下来我们的工作安排。”廖老那洪亮高亢的声音响起。

路阳一直不明白，廖老的身型算是所有人中最矮小的一人，但其声音，气场无人能及，无论多嘈杂的环境，你总能听清他说的话。

“第一步，长春光学这边完成整个EUV光刻机的光学系统，需要完成三个主要目标：1.镜片与反射镜制作，2.镜头组安装，3.完成光学系统验证，这第一步需要23所以及大连光源这边的同事协助完成。”

“第二步，光刻机的整体组装，需要到申城微电子那边去完成，现在那边的同事正在用dUV的技术进行调试，我们都清楚浸润式光刻原理非常复杂，新成立的华芯光电正在全力配合。”

目前的两种光刻机，不管是dUV，还是EUV，基本上都采用浸润式原理。

简单总结就是在光刻机中，采用水为介质，让193nm波长的光线，进入水中进行折射后，让波长变成132纳米，从而实现从45nm-10nm级别的光刻。

浸润式光刻技术是台鸡电林教授于2002年提出的，让193纳米的紫外光通过水的折射变成波长为132纳米的光源，在这之前全世界都无法寻找到波长小于193纳米的光源。

“第三步，工件台移动及测控系统也是在申城微电子那边完成，完成以上三步后实现EUV光刻机的组装，开启测试。”

廖老接着开始介绍整个流程中最为艰难的部分，13.5纳米极紫外光制造。

它需要用20kw的激光，不断轰击从空中滴落的液态锡珠，这些金属液滴的直径只有20微米，大概相当于头发丝直径的13，并且液滴在真空环境中是处于自由下落的状态。

同一个液滴需要在极短时间内被连续轰击两次，第一次冲击是将它压平，第二次冲击是将它汽化，使之成为发光的等离子体，这样才能产生足够强度的极紫外光。

更重要的是，轰击所产生的光转瞬即逝，因此需要每秒钟轰击约五万次，才能保证光的持续性。

持续性光源通过反射镜多次反射，祛除光干扰，然后通过镜头组实现均匀化，最终才形成可以用于雕刻的极紫外光。

路阳听得头皮发麻，每秒5万次的击打，还是在真空状态下，哪怕知道原理，拥有技术，这得多少次实验才能成功啊。

廖老的声音继续回荡在工作间中，

“大家要有心里准备，不可能我们第一次生产的镜片就能完成任务，这中间镜片与镜头组的调试尤为麻烦，需要申城微电子、长春光机所两边跑，而光源部分，20Kw这是个最低值，低于这个数值，最后获得的极紫外光无法使用，所以大连光源这边还得继续增大光源的功率。”

大连光源5人一听这话，心中苦涩，现在20Kw的功率，他们还能勉强达到，稳定性都还不够，要提升谈何容易。

23所的柴文政问道：“我们为什么不把申城那边组装好的设备运到光机所来测试呢？”

白学礼苦笑道：“我也想啊，但长春光机所的整体硬件条件不够，重建需要花费的时间太长，我们仅仅是家光学研究所而已，完全达不到光刻机的环境要求。”

“好了，不要再纠结这个问题，这是目前的最优解，现在我们要突破的是别人几十年甚至上百年才完成的技术，可以说是已经站在巨人肩上乘凉了。”

专家组再次对这三大步骤展开谈论，分配任务，特别是大连光源的同事，刚开始时，还觉得他们是目前所有环节中最为把稳的一环，结果也没那么保险。

三小时后，工作人员终于对镜片展开了最终测试，看到结果，白学礼一直紧绷的情绪终于缓和下来。

“各位，这第一步还不错，起了个好头，说明我们的加工线设计是正确的，这第一块加工完成的镜片，各项指标都远超我们之前的产品，路总，好消息是dUV光刻机的镜片，以现在的这条加工线，应该是能满足了。”

这是一剂强心针，所有人对下午的正式加工结果信心大增。

专家小组背后是各家的鼎力支持，这条加工线能在不到一个月时间完成，背后所付出的资金、资源都是不可估量的。

“看来90纳米dUV光刻机的生产线是稳了，下一步逐步升级到45纳米的dUV光刻机也该提上日程了。”

路阳心想，这下总算是出新手村了。

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