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第14章 抛光液配方（第1页）

虽迟但到，看着脑内的cmp技术提示，其中有抛光液调制，研磨颗粒制作的详细教程，而在cmp旁，生出了两片新芽，抛光垫以及硅棒提拉法，这两项虽然还没内容，但路阳知道了系统的打开方式，这一切都不是问题。

苏硅使用的研磨颗粒是就地取材的细小硅颗粒，而教程中还给出了氧化铈颗粒，金刚石颗粒。

研磨颗粒的直径要求严格规定在10-200纳米之间，直径过大的颗粒物会在研磨过程中对硅片表面造成损伤从而使其报废。

光使用过滤膜来获得研磨颗粒还不够，这些颗粒物吸附力过强，还需要加入分散剂，这也是为什么抛光液必须调配后立刻使用的原因，放置久了会变成大颗粒。

难怪这东西不能直接找国外购买，抛光液制作的工程师个个都是企业的宝贝疙瘩啊。

抛光垫则是置于硅片下方的垫子，也是需要定期更换的耗材，抛光垫通常是用高分子多孔材料制成，这些大小不一的孔，既形成了打磨表面，又能在抛光过程中吸收抛光液。

从硅石到多晶硅这一步，华国生产能力世界领先，苏硅的主要原料就是多晶硅棒，供应厂商货大量足，而多晶硅棒变成单晶硅棒就是苏硅的事了，业内主流的做法都是选择柴可拉斯基法，又称提拉法或直拉法。

系统会提到提拉法，自然证明其重要性，硅棒的直径跟质量直接决定了硅片的成品，要想生产12寸的硅片，就得制作12寸直径的硅棒，而目前苏硅半导体的技术，只能制作8寸直径的硅棒。

接下来两天，路阳直接住在了苏硅，季一楠也按照路阳给的要求，开始去找猎头公司挖人去了，既然有了方法，培养抛光液制作工程师刻不容缓。

董事长办公室内，宗仕刚正跟负责抛光液制作的荣常生交谈，“常生啊，下周我们要到沪硅那边考察12寸硅片的生产线，你把部门的人都带上，去那边取取经。”

荣常生今年45岁，在沪硅已经干了10多年，个头不高，常年带着一副厚厚的黑框眼镜。

“这？宗总，正有个事需要向您汇报下，新来的路总这两天好像研究出了新的抛光液配方，同事们都在配合实验。”

宗仕刚一震，问道，“他一外行，会配置配方？”

显然是不相信荣常生所说，路阳这两天一直泡在那边，他也只是以为是兴趣爱好而已。

“我开始也这么认为，可他发明的几款配方，已经成功将我们的良品率提升了3个点，还只是手法不成熟而已，这个路总不简单啊！”

宗仕刚双眼一亮，“走，去看看。”

这么多年了，苏硅的配方一直无法提升，这路阳刚来两天竟然提升了3个点，有点匪夷所思了。

来到抛光车间，看到路阳正带着人在不断的调试，一名年轻的同事甚至欢呼起来，“路总，这款配方可以进A级了，不比国外的差，你是怎么想到这个比例的。”

“可能是天赋吧，我对这东西有天然的感觉。”

路阳有点不好意思，这两天听到的赞美实在太多，这款是系统给的顶级配方，配置难度也最大，抛光液是组合使用的，并非只是一款，不同时段加入不同的抛光液，沪硅这边使用的组合每次都在2-3种，而系统给到的组合却是5种。

连续两天的调试，路阳终于完成了5种配方的制作，接下来才是研磨颗粒的问题。

看到宗仕刚跟荣常生进来，路阳放下手中的试剂，“宗老，您怎么过来了，我正有事找您！”

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